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PFA Wafer Cassettes
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PFA Wafer Cassettes

As cassetes semicorex pfa wafer são portadores de alta pureza projetados para garantir um manuseio seguro e livre de contaminação das bolachas de semicondutores durante o processamento, o armazenamento e o transporte úmidos. A escolha do semicorex garante não apenas a qualidade do material PFA superior, mas também a engenharia de precisão que oferece confiabilidade, limpeza e desempenho a longo prazo em ambientes avançados de fabricação.*

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Descrição do produto

As cassetes semicorex pfa wafer são operadoras projetadas para manusear com segurança, armazenar e transferir as bolachas de semicondutores em aplicações avançadas de fabricação. Essas cassetes são construídas a partir de polímero de perfluorokoxi de alta pureza (PFA) e apresentam resistência química, estabilidade térmica e durabilidade mecânica necessárias na limpeza úmida, processamento químico e aplicações de transporte de wafer. As bolachas permanecem protegidas da contaminação, danos mecânicos e ataques químicos nas etapas críticas de transporte de wafer no processo de fabricação de semicondutores.


O uso do PFA como material primário para essas cassetes de wafer é uma mudança significativa dos portadores de polímeros tradicionais. O PFA tem resistência superior a muitos ácidos agressivos, bases e solventes comuns nas etapas de limpeza do processo úmido (isto é, limpeza de RCA, SC1, SC2) normalmente associadas à fabricação de semicondutores. A inércia química do PFA garante que as bolachas não sejam expostas ao vazamento de contaminação da própria transportadora; portanto, os defeitos não surgem da falta de integridade do processo. Além disso, ser capaz de suportar altas temperaturas permite que as cassetes suportem processos envolvendo banhos químicos quentes ou enxágüe de água com ultrapura quente com desempenho estável e confiável.



PFA Wafer Cassettessão projetados com superfícies suaves de precisão também não por favoritas para minimizar a adesão de partículas e permitir a limpeza. As cassetes de wafer alcançam altos níveis de limpeza nos Fabs de hoje, onde mesmo a contaminação do sub-micron pode resultar em perda de rendimento ou falha do dispositivo. O tipo de contorno interno liso reduz o arranhão das delicadas superfícies de bolas e permite a drenagem ordenada de líquidos após o processamento úmido para impedir que uma pasta de resíduos químicos permanecesse ou tocando as bolachas enquanto aumentam a consistência do processo e a redução da necessidade de limpar os esforços pela segunda vez.


Uma grande vantagem adicional das cassetes de wafer da PFA é a precisão dimensional e a estabilidade estrutural. O processo de fabricação de cassetes requer tolerâncias mais rígidas do que o normalmente esperado, o que permite que a cassete mantenha as bolachas firmemente de forma que não haja um contato indesejado ou indesejado das bolachas durante a transferência. As cassetes são de posição ou de destaque, seja para manuseio manual ou durante os sistemas automatizados de transporte de wafer. As cassetes de wafer da PFA estarão em conformidade com as fugas físicas padrão associadas aos sistemas de manuseio e transporte padrão de bolacha da indústria. A confiabilidade longa e útil de serviço associada às cassetes de wafer PFA aumenta o valor do investimento, pois o PFA pode suportar a reutilização após repetidas exposições químicas, de ciclismo termicamente e mecânicas.


As cassetes de wafer da PFA são ativos valiosos não apenas no processamento químico úmido para proteger as bolachas, mas para armazenamento e transporte. Eles são construídos com materiais inertes para manter as bolachas limpas durante o processo de resfriamento, e sua durabilidade deve limitar a quebra e os chips de borda de embalagens e transporte. As cassetes de wafer da PFA são importantes para os Fabs semicondutores, bem como para os laboratórios de pesquisa, fabricação fotovoltaica e outras indústrias que precisam de manuseio de wafer de alta pureza.


PFA Wafer CassettesTraga também sustentabilidade e custo favoráveis ​​por uso. Os materiais de construção são resilientes ao ataque químico e fáceis de limpar, para que sejam reutilizáveis, diminuindo o desperdício e os descartáveis ​​e incentivando o uso repetido para diminuir a despesa operacional a longo prazo. Observando a quebra comum de uma bolacha quando há contaminação, diminuir os eventos de contaminação e a perda de wafer aumentará o rendimento e diminuirá a defeito. A perda de rendimento e o aumento da defeito da tela são os principais fatores na ontologia na competitividade de uma operação de fabricação de semicondutores.


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