Portadores de wafer PFA

Semicorex PFAPortadores de wafersão portadores de alto desempenho projetados para o manuseio, armazenamento e transporte seguros de bolachas de semicondutores em um ambiente ultra-limpo. A fabricação de semicondutores avançados garante que os portadores de wafer PFA ofereçam resistência química incomparável, estabilidade térmica e controle de partículas da integridade e limpeza das bolachas durante a fabricação até os testes finais.

Feito de novo PFA, esses portadores de wafer mostram grande resistência a produtos químicos agressivos, como ácidos fortes, bases e solventes, geralmente usados na limpeza e gravação de bolachas. As propriedades de lixiviação de íons muito baixas da PFA tornam o material preferido para tarefas importantes da sala limpa, onde até pequenas quantidades de contaminantes podem afetar os rendimentos do dispositivo.

Os portadores de wafer da PFA são fabricados em salas limpas e trabalham com os padrões de quartos limpos da Classe 1 (ISO Classe 3). A superfície lisa e antiaderente do PFA minimiza a geração de partículas e a adesão, impedindo a contaminação de resíduos ou partículas. Além disso, a natureza hidrofóbica da PFA facilita a enxágue completa e a secagem rápida, reduzindo ainda mais o risco de contaminação cruzada durante as etapas de processamento úmido.

Cada portador de wafer da PFA é feito com precisão para garantir o apoio seguro e até as bolachas durante a mudança e a manutenção. Os slots ranhurados ajudam as bolachas com pouco contato, reduzindo o estresse e lascando as bordas das bolachas. As operadoras vêm em muitas formas para se ajustarem a vários tamanhos de bolachas, que incluem diâmetros de 100 mm, 150 mm, 200 mm e 300 mm. Tops opcionais e formas de travamento apertadas dão segurança extra contra choques aos produtos, vibração e exposição ao meio ambiente.

Devido à excelente resistência térmica do PFA em até 260 ° C, é compatível com processos de alta temperatura, como difusão, oxidação e CVD de deposição de vapor químico. A transportadora mantém sua integridade estrutural sob ciclo térmico repetido e, portanto, é adequado para ambientes de processamento em lote e automatizados.

Os portadores de wafer PFA têm amplas aplicações na limpeza de bolas, gravura úmida, cmp de fotolitografia e outros processos de front-end e back-end na fabricação de IC. Seu design e pureza robustos os tornam ideais para uso em FABs, laboratórios de P&D e equipamentos OEM que requerem protocolos de controle de contaminação estritos.

PersonalizadoPortadores de wafer PFAPode ser desenvolvido para atender aos requisitos específicos de automação, incluindo manuseio robótico, sistemas de pista e transporte vertical/horizontal. As operadoras são totalmente compatíveis com equipamentos de manuseio padrão de bolacha e ferramentas de fabricação de semicondutores.