Barco Solar de Grafite PECVD

SemicorexBarcos solares de grafite PECVDsão feitos com precisão de alta purezagrafite isostática. Cada barco solar de grafite PECVD da Semicorex passa por usinagem precisa, inspeção dimensional e testes de desempenho elétrico para garantir desempenho estável em ambientes de plasma de alta temperatura.

Durante o processamento do PECVD, o barco solar de grafite PECVD transporta pastilhas de silício para a câmara de reação do PECVD e serve como eletrodo conectado à fonte de alimentação de RF. Quando uma tensão alternada é aplicada entre placas adjacentes do barco, um campo elétrico é estabelecido. Sob a influência do campo elétrico, os gases reativos (como o silano SiH₄ e a amônia NH₃) sofrem descarga luminosa e geram plasma. Íons e radicais livres no plasma decompõem os gases precursores, formando íons de silício (Si) e nitrogênio (N). Esses íons se combinam para formar moléculas de nitreto de silício (Si₃N₄), que são então depositadas na superfície da pastilha de silício para formar filmes finos.

1. Estabilidade térmica excepcional

Com um coeficiente de expansão térmica próximo ao dos wafers de silício, o SemicorxBarco solar de grafite PECVDexperimenta mudanças dimensionais insignificantes após o aquecimento, o que evita de forma confiável danos induzidos por estresse térmico nas bolachas.

2. Condutividade elétrica e térmica superior

Os barcos solares de grafite Semicorex PECVD têm excelente condutividade elétrica, garantindo rápida condução de corrente de RF e distribuição uniforme de campo elétrico, o que é benéfico para geração de plasma estável e deposição uniforme de wafer de silício. Além disso, sua condutividade térmica superior facilita o resfriamento e o aquecimento rápidos, melhorando a eficiência da produção e evitando que o superaquecimento localizado afete a qualidade da deposição.

3. Forte estabilidade química

Graças ao uso de material de qualidade premium, o barco solar de grafite Semicorex PECVD é menos sujeito a reações com gases reativos e plasma. Esta característica evita significativamente a distribuição desigual do campo elétrico causada por corrosão, deformação ou deposição de impurezas no barco de grafite, garantindo assim a estabilidade do processo de deposição e a qualidade da superfície das pastilhas de silício.

4. Excelente resistência mecânica

Com sua excelente resistência mecânica, o barco solar de grafite Semicorex PECVD pode suportar facilmente o peso de cargas de wafer de alto volume. Eles podem suportar o estresse mecânico gerado durante o carregamento e transporte por um longo tempo sem deformar ou quebrar facilmente.

5. Excelente consistência dimensional

O barco de grafite solar Semicorex PECVD alcança precisão dimensional excepcional em todos os componentes por meio de usinagem de precisão. Mantém o wafer de silício em uma posição fixa durante a deposição, o que garante deposição uniforme e compatibilidade com produção automatizada.