Aquecedor PBN

O aquecedor PBN de nitreto de boro pirolítico semicorex é um componente de aquecimento de alta pureza e alto desempenho projetado para aplicações exigentes, onde materiais ultra-limpos, quimicamente estáveis e termicamente eficientes são essenciais. Fabricado através de um processo de deposição de vapor químico (DCV), a PBN exibe condutividade térmica excepcional, resistência de alta temperatura e excelente inércia química, tornando-a a escolha ideal para processamento de semicondutores, crescimento de cristais e aplicações a vácuo.

O aquecedor PBN é um aquecedor que usa PBN altamente isolante como substrato e usa deposição de vapor químico de decomposição térmica de baixa pressão (CVD) para revestir a PG condutiva em baixa pressão (abaixo de 10TORR) e alta temperatura. Os principais componentes deste aquecedor composto são nitreto de boro pirolítico (PBN) e grafite pirolítica (PG). Devido à sua excelente resistência à corrosão e resistência à alta temperatura, é usado principalmente para aquecimento do substrato semicondutor (usado em MBE, MOCVD, revestimento de pulverização, etc.); aquecimento do substrato supercondutor; aquecimento da amostra durante a análise da amostra; aquecimento da amostra de microscópio eletrônico; aquecimento de metal; Fonte de aquecimento de evaporação de metal, etc.

O PBN é inerte a gases corrosivos; tem alta pureza (maior que 99,99%); não molhado ou reage com a maioria dos metais fundidos (tem as características de uma panela antiaderente, e o metal pode ser usado 100%); tem boa resistência à alta temperatura (a temperatura de operação máxima é 2000 ℃); boa densidade; A boa resistência ao choque térmico e outras excelentes propriedades o tornam um material ideal para preparar aquecedores compostos PBN-PG. A PG pode ser aquecida rapidamente para 1600 ℃ (em uma atmosfera inerte e sob vácuo) em um aquecedor PBN. Ao mesmo tempo, combinado com a boa condutividade térmica do PBN, a superfície de aquecimento tem boa uniformidade de calor. Com o rápido desenvolvimento de indústrias relacionadas, a demanda por aquecedores compostos PBN-PG também aumentou rapidamente.

Os aquecedores de PBN podem ser fabricados em uma variedade de formas e configurações para atender aos requisitos específicos de design e integração. Os projetos típicos incluem aquecedores planares, aquecedores tubulares e geometrias personalizadas com elementos de aquecimento incorporados ou montados na superfície. Os elementos de aquecimento geralmente são feitos de grafite pirolítica (PG) e encapsulados no PBN, fornecendo uma estrutura completamente selada, isolante eletricamente e termicamente eficiente.