Aquecedores compostos PBN

Os aquecedores compostos semicorex PBN mesclam a excelente condutividade térmica da grafite pirolítica com a inércia química e o isolamento elétrico do nitreto de boro pirolítico. Esses aquecedores são construídos a partir de uma grafite e PBN de alta pureza, aplicadas usando um processo de alta qualidade (deposição de vapor químico) sob condições de deposição de alta pureza. Cada camada de realização individual foi depositada com controlabilidade muito extrema para garantir uma pureza ultra-alta e propriedades térmicas consistentes. O núcleo de grafite, que fornece aquecimento rápido e uniforme por toda parte, é protegido da oxidação e contaminação pela cápsula PBN; Isso torna o aquecedor ideal para ambientes a gás a vácuo e ambientes de gás inertes. Esses aquecedores de PBN são propositadamente projetados para uso em reatores de MBE (epitaxia de feixe molecular), reatores de CVD e outros sistemas de crescimento de cristais.

O aquecedor composto de grafite pirolítico de nitreto de boro pirolítico (PBN-PG) é um aquecedor que usa PBN de alta isolamento como substrato e usa a deposição de vapor químico de decomposição térmica de baixa pressão (CVD) a baixa pressão (abaixo de 10TORR) e alta temperatura para a pg condutiva. Os principais componentes deste aquecedor composto são nitreto de boro pirolítico (PBN) e grafite pirolítica (PG). Devido à sua excelente resistência à corrosão e resistência à alta temperatura, é usado principalmente para aquecimento do substrato semicondutor (usado em MBE, MOCVD, revestimento de pulverização, etc.); aquecimento do substrato supercondutor; aquecimento da amostra durante a análise da amostra; aquecimento da amostra de microscópio eletrônico; aquecimento de metal; Fonte de aquecimento de evaporação de metal, etc.

Os aquecedores de PBN podem suportar temperaturas operacionais de até 1600 ° C no vácuo e ter uma capacidade aprimorada de suportar choque térmico sobre quaisquer alternativas baseadas em metal em que você confiaria. A superfície do aquecedor é extremamente lisa e densa e produz significativamente menos partículas durante a operação, o que é crítico para aplicações em que a contaminação não pode ser tolerada, como o processamento de wafer semicondutor.

A estrutura composta fornece excelente uniformidade térmica na superfície do aquecedor, e seus caminhos resistivos podem ser personalizados para permitir uma distribuição de calor personalizada. Esse design permite ciclos rápidos de aceleração e recarga durante o processamento sem rachaduras e delamina devido aos mesmos coeficientes de expansão térmica dos materiais usados. Os eletrodos são capazes de suportar a operação de alta corrente contínua e também são compatíveis no vácuo.

O Semicorex fornece flexibilidade ilimitada de design para formas, tamanhos e requisitos de energia exclusivos, quando necessário, para satisfazer as necessidades específicas de aplicação; Seja para tamanhos padrão de bolacha ou geometrias mais complexas, garantimos a precisão dimensional e a uniformidade térmica em todas as unidades produzidas.

Os aquecedores compostos PBN são perfeitos para aplicações ultra-limpas, incluindo:

• Sistemas MBE para Processamento de Semicondutores III-V e II-VI
• Sistemas de revestimento a vácuo para componentes ópticos
• Sistemas de crescimento de cristais para safira e sic
• Processamento térmico de alta pureza para ambientes de laboratório de pesquisa e desenvolvimento.