Na fabricação de semicondutores, a gravação é uma das etapas principais, junto com a fotolitografia e a deposição de filmes finos. Envolve a remoção de materiais indesejados da superfície de um wafer usando métodos químicos ou físicos. Esta etapa é realizada após revestimento, fotolitografia e revel......
consulte Mais informaçãoO substrato de SiC pode apresentar defeitos microscópicos, como deslocamento do parafuso rosqueado (TSD), deslocamento da borda rosqueada (TED), deslocamento do plano base (BPD) e outros. Esses defeitos são causados por desvios no arranjo dos átomos no nível atômico.
consulte Mais informaçãoO substrato de SiC pode apresentar defeitos microscópicos, como deslocamento do parafuso rosqueado (TSD), deslocamento da borda rosqueada (TED), deslocamento do plano base (BPD) e outros. Esses defeitos são causados por desvios no arranjo dos átomos no nível atômico. Os cristais de SiC também pode......
consulte Mais informaçãoDe acordo com os resultados da pesquisa, o revestimento TaC pode atuar como uma camada de proteção e isolamento para prolongar a vida útil dos componentes de grafite, melhorar a uniformidade da temperatura radial, manter a estequiometria de sublimação de SiC, suprimir a migração de impurezas e reduz......
consulte Mais informação