Tubo guia interno

O tubo guia interno Semicorex é um tubo guia interno projetado com precisãocomponente carbono/carbono (C/C)projetado para aplicações avançadas de campo térmico de alta temperatura, particularmente no crescimento de cristais de silício de alta pureza. Como elemento crítico nos fornos de crescimento de cristais, este componente desempenha um papel central na formação e estabilização do gradiente térmico, garantindo a formação ideal de cristais e a qualidade consistente do material.

Fabricado a partir de composto de carbono reforçado com fibra de carbono de alta densidade, o tubo guia interno oferece excepcional integridade estrutural e estabilidade térmica sob condições extremas. Com densidade ≥1,35 g/cm³ e resistência à flexão ≥110 MPa, mantém robustez mecânica mesmo durante exposição prolongada a temperaturas elevadas. Essas propriedades são essenciais na produção de silício de grau semicondutor, onde mesmo pequenas flutuações nas condições térmicas podem afetar significativamente a uniformidade do cristal e as taxas de defeito.

Funcionalidade principal: controle de gradiente de precisão

A função principal do tubo guia interno C/C é construir um campo preciso de temperatura gradiente. Durante o processo de crescimento do cristal de silício, ele é posicionado diretamente acima do fundido para:

Fluxo direto de gás: orienta o fluxo de gás argônio inerte, garantindo que os vapores de óxido de silício (SiO) sejam removidos com eficiência da superfície fundida, evitando a contaminação de oxigênio no cristal.

Blindagem Térmica: Protege o cristal em crescimento da radiação direta de calor das paredes do cadinho, estabelecendo o gradiente de temperatura axial acentuado necessário para a extração do cristal em alta velocidade e alta qualidade.

Eficiência Energética: Ao concentrar o calor dentro da zona de fusão e isolar os componentes superiores do forno, reduz significativamente o consumo total de energia.

Especificações Técnicas e Excelência de Materiais

Nossos tubos-guia internos são fabricados com alta densidadeCompostos de carbono/carbono, fornecendo uma alternativa superior ao grafite tradicional. As propriedades do material são otimizadas para as condições extremas de fornos semicondutores a vácuo:

Densidade: ≥ 1,35 g/cm³

Resistência à flexão: ≥ 110 MPa

Coeficiente de Expansão Térmica (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Condutividade térmica (temperatura ambiente): ≤ 10 W/(m·K)

Indústria

À medida que a indústria avança em direção a tamanhos maiores de wafer (300 mm e 450 mm), as demandas no campo térmico aumentam exponencialmente. Nossos tubos guia internos são compatíveis com as principais marcas de fornos CZ e podem ser personalizados em termos de geometria e revestimento.