Barcos horizontais de wafer de quartzo

Barcos horizontais de wafer de quartzocomumente seguram wafers semicondutores horizontalmente dentro dos tubos do forno do equipamento de tratamento térmico, aquecidos por dispositivos de aquecimento externos. Eles são amplamente utilizados em processos exigentes de tratamento térmico de semicondutores corrosivos de alta temperatura, como oxidação térmica, difusão em alta temperatura, recozimento e processos de deposição química de vapor (CVD).

As funções dos barcos wafer de quartzo horizontais Semicorex

1. Fixação e fixação estáveis

Os barcos horizontais de wafer de quartzo Semicorex têm excelente capacidade de carga e podem oferecer constantemente suporte estável para vários wafers semicondutores. E seu design externo otimizado e estrutura de slot precisa garantem que cadabolachaé perfeitamente ajustado e firmemente fixado nos barcos horizontais de wafer de quartzo, o que reduz significativamente os arranhões e colisões do wafer causados ​​por agitação, deslocamento e inclinação durante os processos de transporte e fabricação.

2. Assistência à uniformidade do processo

A estrutura de slots com espaçamento igual dos barcos horizontais de wafer de quartzo permite a colocação ordenada de wafers semicondutores, criando assim um campo de fluxo de gás estável e suave nos fornos de alta temperatura. O projeto estrutural atinge contato de gás e taxa de reação consistentes em cada superfície do wafer, reduzindo assim efetivamente vários defeitos causados ​​pelo aquecimento desigual e contato diferencial de gás, como oxidação incompleta do wafer, deposição irregular de película fina e desvio de concentração de dopagem.

3. Vida útil de longa duração

Graças à resistência superior a altas temperaturas do material de quartzo, os barcos horizontais de wafer de quartzo Semicorex podem suportar altas temperaturas de 1100-1200 ℃ por um longo tempo sem deformação ou derretimento.Quartzoé quimicamente inerte aos gases comumente usados ​​em processos de semicondutores, como oxigênio, nitrogênio e cloreto de hidrogênio. Esta excepcional inércia química pode minimizar o risco de corrosão dos gases do processo, prolongando significativamente a vida útil e reduzindo o tempo e os custos de substituição do equipamento.