O aquecedor de grafite Semicorex para zona quente, projetado para operar de maneira confiável em fornos de alta temperatura, é projetado para suportar as condições desafiadoras inerentes a processos como deposição química de vapor (CVD), epitaxia e recozimento em alta temperatura. Nós da Semicorex nos dedicamos a fabricar e fornecer aquecedor de grafite de alto desempenho para zona quente que combina qualidade com economia.**
Distribuição homogênea de temperatura:O aquecedor de grafite para zona quente é conhecido por suas características de aquecimento uniforme, alcançadas por meio de uma combinação de processamento meticuloso de material e usinagem de precisão. Essa homogeneidade garante um perfil de temperatura consistente em toda a superfície de aquecimento, minimizando gradientes térmicos que podem levar ao processamento irregular do wafer, rendimento reduzido e desempenho inconsistente do dispositivo.
Resistência excepcional à corrosão:O aquecedor de grafite para zona quente demonstra notável resistência a uma variedade de gases corrosivos e produtos químicos comumente encontrados no processamento de semicondutores em alta temperatura. Esta inércia inerente garante a estabilidade e o desempenho do aquecedor a longo prazo, minimizando os riscos de contaminação e prolongando a vida útil operacional.
Resistência superior à oxidação:Diferentemente do grafite convencional, o Aquecedor de Grafite para Zona Quente apresenta resistência superior à oxidação, mesmo em temperaturas elevadas. Esta característica é crucial para manter a integridade do aquecedor e prevenir a formação de contaminação por partículas dentro da câmara de processamento.
Pureza Química Ultra-Alta:O aquecedor de grafite para zona quente é processado para atingir níveis de pureza ultra-altos, minimizando o risco de introdução de contaminantes indesejados no ambiente de processamento de semicondutores. Esta pureza excepcional é essencial para manter a integridade de materiais semicondutores delicados e garantir as propriedades elétricas e ópticas desejadas dos dispositivos fabricados.
Alta resistência mecânica e estabilidade:O aquecedor de grafite para zona quente possui esplêndida resistência mecânica e estabilidade dimensional em temperaturas elevadas, permitindo a fabricação de componentes de aquecedor robustos, capazes de suportar os rigores da operação em alta temperatura, incluindo ciclos térmicos e estresse mecânico.