Eletrodo de grafite

O eletrodo de grafite Semicorex é um componente de grafite fabricado com precisão e alta pureza para uso em aplicações térmicas de semicondutores, onde a condutividade elétrica, a estabilidade térmica e a precisão dimensional são fundamentais. Na verdade, estes tipos de eletrodos são utilizados em fornos de alta temperatura, reatores epitaxiais e câmaras de processamento térmico, facilitando a condução estável de corrente, transferência de calor e estabilidade sob condições agressivas de temperatura e atmosfera. Devido à extrema pureza, uniformidade da estrutura sólida e altas propriedades mecânicas dos eletrodos de grafite Semicorex, eles podem fornecer desempenho térmico confiável como elementos de aquecimento em aplicações exigentes de semicondutores

O eletrodo de grafite é fabricado a partir de material de grafite de grão fino de alta qualidade, cada um deles é feito utilizando uma sequência avançada de extrusão, carbonização em alta temperatura e grafitização. A microestrutura do grafite é projetada para resistividade elétrica aproximadamente constante, alta condutividade térmica e estabilidade mecânica. O produto final é um condutor térmico de alta pureza que mantém uma condição física e uma distribuição uniforme de corrente em ambientes de alta potência, bem como rápidas flutuações de temperatura.

Ultra Desempenho em nossografite

Nosso grafite garante uniformidade de desempenho superior. Primeiramente, durante o processo de carbonização, nossos fornos possuem apenas 115 metros cúbicos. Nossa equipe técnica monitora o campo de temperatura dos produtos de grafite nas diferentes áreas de cada forno. No estágio inicial de baixa temperatura (0-200°C), controlamos a temperatura dentro de ±10°C, e em altas temperaturas (acima de 600°C), dentro de ±1°C. Não apenas monitoramos o campo de temperatura entre diferentes partículas de grafite, mas também a temperatura superficial e interna de cada peça de grafite individual, controlando-a dentro de ±3°C. Monitoramos 8 pontos de temperatura em cada forno de carbonização.

Em segundo lugar, durante o processo de grafitização, tomando como exemplo um lote de 500 kg, também monitoramos 8 pontos de temperatura. Após a grafitização, amostramos aleatoriamente e testamos destrutivamente 24 pontos ao longo dos eixos X, Y e Z para garantir uniformidade. A maioria das empresas do setor testa apenas o eixo X, ou no máximo o eixo XY, com os fabricantes típicos testando apenas 6 a 8 pontos, e os melhores testando 12 pontos. Testamos 24 pontos.

No campo térmico de semicondutores, o eletrodo de grafite é uma parte crítica do conjunto de aquecimento, direcionando a corrente elétrica para a zona de aquecimento e permitindo a distribuição controlada de temperatura através de um processo específico, como oxidação, difusão, LPCVD ou epitaxia. O eletrodo de grafite deve desempenhar uma função operacional confiável em temperaturas superiores a 2.000°C e fazê-lo ao mesmo tempo que resiste à oxidação, deformação ou contaminação do local de aquecimento.

Os eletrodos de grafite Semicorex possuem excelente condutividade elétrica, o que facilita o fornecimento eficaz de energia com perdas mínimas, e possuem excelente condutividade térmica, permitindo transferência de calor rápida e uniforme no forno. A combinação de baixa expansão térmica e alta resistência mecânica reduz a deformação e fissuras durante o ciclo térmico, proporcionando um comportamento estável durante longos períodos de vida útil. Cada eletrodo é usinado com tolerâncias dimensionais rigorosas e acabamento superficial fino para garantir contato consistente e resistência elétrica insignificante na superfície de contato.

Tendo em mente os requisitos específicos dos processos de semicondutores, a Semicorex pode projetar projetos de eletrodos personalizados para atender a qualquer configuração de forno e especificação de potência. Podem ser disponibilizados diferentes diâmetros, comprimentos, tipos de conexões ou acabamentos superficiais. Quando necessário, materiais de revestimento, como SiC ou carbono pirolítico, podem ser aplicados para apoiar a resistência à oxidação e a vida útil em ambientes com alto teor de oxigênio ou gases reativos.

A alta pureza domaterial de grafiteserve para garantir níveis incrivelmente baixos de impurezas metálicas (e impurezas gasosas), muitas vezes superiores a 99,999% de carbono. Esses baixos níveis de impurezas ajudam a evitar a contaminação de wafers semicondutores durante o processamento térmico. Combinados com a profundidade significativa de usinagem e o acabamento superficial polido, os eletrodos de grafite Semicorex atendem à estabilidade mecânica e química das tecnologias de ponta de fabricação de wafer.

Seja usado em fornos de difusão, reatores epitaxiais ou equipamentos de processamento de alta temperatura, o eletrodo de grafite Semicorex oferece desempenho incomparável nos ambientes térmicos mais exigentes. Ao combinar alta pureza, geometria precisa e processamento avançado de materiais, a Semicorex oferece uma solução de eletrodo que garante condução de corrente estável, aquecimento consistente e confiabilidade operacional de longo prazo, essencial para a fabricação de semicondutores de próxima geração.