Crucisos de grafite

Os cadios de grafite semicorex são componentes críticos no processo de fabricação de semicondutores, particularmente durante o estágio de crescimento de cristais. Esses recipientes de alto desempenho são projetados para suportar as condições extremas necessárias para produzir cristais semicondutores de alta pureza ou compostos através de métodos como o processo Czochralski (CZ) ou a técnica da zona de float (FZ).

Uma grande função dos cadinhos de grafite é suportar e suportar temperaturas extremamente altas, tipicamente acima de 2000 ° C, onde materiais semicondutores de terceira geração, como carboneto de silício e nitreto de gálio, são frequentemente sintetizados. Os cadinhos feitos de grafite de alta pureza exibem excelente resistência a altas temperaturas, mantendo seus estados físicos e químicos em níveis tão extremos, sem qualquer forma de decomposição ou mesmo metamorfose. A boa condução térmica por seleção de grafite significa que eles não apenas conduzirão o calor uniformemente, mas também configurarão um campo de temperatura estável. Isso entra em jogo crucialmente durante os processos de fusão e cristalização, uma vez que a distribuição uniforme da temperatura permitirá material de crescimento sob condições mais ou menos equivalentes, reduzindo assim os defeitos cristalinos e permitindo cristais de semicondutores de qualidade.

Nos processos de crescimento de cristais de carboneto de silício ou nitreto de gálio (como epitaxia de fase de vapor, CVD ou transporte físico de vapor), os cadios de grafite são usados para manter matérias -primas e proporcionar um ambiente de crescimento controlado. A inércia química do cadinho garante que ele não reaja quimicamente com o material semicondutor em altas temperaturas, mantendo assim a alta pureza do material. Ao mesmo tempo, a boa condutividade térmica do cadinho de grafite ajuda a formar um gradiente de temperatura uniforme, fornecendo condições ideais para crescimento de cristais e reduzindo impurezas e defeitos estruturais.

A inércia química dos cadinhos de grafite é uma característica essencial na purificação de materiais semicondutores. Seu material de grafite de alta pureza pode isolar a poluição externa e impedir que as impurezas entrem no material semicondutor fundido. A superfície do cadinho de grafite também pode ser revestida (como o revestimento de carboneto de silício) para aumentar sua resistência à oxidação e resistência à corrosão, garantindo ainda mais a alta pureza e alta estabilidade do processo de produção.