Mandris de alumina com ranhuras anulares

Os mandris de alumina com ranhuras anulares Semicorex adotam uma estrutura de superfície que consiste em uma série de múltiplas ranhuras anulares concêntricas. Quando conectadas à bomba de vácuo, essas ranhuras formam zonas de pressão negativa em forma de anel para segurar de forma estável wafers finos e peças de trabalho com posicionamento preciso. Os mandris de alumina com ranhura anular Semicorex funcionam bem em condições de trabalho que exigem gerenciamento rigoroso de planicidade e força de adsorção distribuída uniformemente, que são amplamente aplicados em retenção de wafer, posicionamento de exposição, gravação de plasma, bem como inspeção de wafer e processos de transferência.

Vantagens dos mandris de alumina com ranhura anular Semicorex

1. Resistência excepcional a altas temperaturas

Cerâmicas de alumina fabricadas por sinterização por densificação apresentam desempenho térmico notável. Devido a esta propriedade do material, os mandris de alumina com ranhura anular Semicorex funcionam de forma estável sob ambientes de trabalho com temperaturas extremamente altas, sem deformação estrutural e degradação do desempenho no uso a longo prazo.

2. Força de adsorção uniforme

Semicorex com ranhura anularmandris de aluminaapresentam múltiplas ranhuras anulares em sua superfície de adsorção, nas quais são formadas zonas de vácuo estáveis ​​em forma de anel. Esta configuração permite uma força de adsorção consistente nas principais áreas de contato do wafer, o que reduz significativamente a deformação parcial e o empenamento do wafer.

3. Estabilidade estrutural superior e alta precisão de posicionamento de repetição

Apresentando rigidez de material superior e estabilidade estrutural, os mandris de alumina com ranhura anular Semicorex são capazes de manter excelente planicidade e precisão de posicionamento consistente durante operações repetidas de fixação a vácuo por um longo tempo.

4. Forte resistência à corrosão química

Por causa dealuminaCom estabilidade química confiável, os mandris de alumina com ranhura anular Semicorex apresentam excelente resistência à maioria das substâncias ácidas e alcalinas, bem como a vários gases de processo corrosivos e são altamente adaptados às desafiadoras condições operacionais corrosivas.

5. Excelente limpeza

Graças ao rigoroso controle de pureza do material e ao tratamento de densificação, os mandris de alumina com ranhura anular Semicorex raramente liberam partículas ou liberam impurezas em serviço, o que satisfaz plenamente os rigorosos padrões de baixa contaminação em salas limpas de semicondutores.

Por que escolher Semicorex?

Como empresa líder do setor na China, a Semicorex conta com linhas de produção integradas e uma equipe técnica experiente. Podemos oferecer suporte técnico personalizado e soluções de processo otimizadas aos nossos clientes e fornecer-lhes fabricação personalizada fora do padrão de nossos mandris de alumina com ranhura anular em termos de pureza do material, formato dos mandris, dimensões, planicidade, tolerâncias e outros requisitos.