Braços Robóticos de Alumina

Os braços robóticos de alumina Semicorex são normalmente instalados nos robôs de manuseio de wafer, servindo como transferência de waferefetor finalque funciona como a transferência segura e precisa de wafers semicondutores para as posições necessárias. Através de seus orifícios de ar internos e canais de gás, os braços robóticos de alumina podem gerar pressão negativa constante para adsorver firmemente wafers semicondutores. Este método de adsorção atinge um contato suave com a superfície do wafer, o que evita efetivamente arranhões superficiais indesejados e danos mecânicos, garantindo assim proteção total para wafers semicondutores.

Vantagens dos braços robóticos de alumina

A Semicorex implementa rigoroso controle de qualidade de seus produtos a partir da seleção de matérias-primas.

Seus braços robóticos de alumina são fabricados com precisão a partir de materiais de alta purezaaluminapó de granulação, exibindo excelentes propriedades como segue.

1. Limpeza ultra-elevada

Os braços robóticos de alumina Semicorex apresentam alta pureza de material e microestrutura densa, o que lhes permite evitar a liberação de íons metálicos e o derramamento de micropartículas durante a operação, atendendo assim totalmente aos rigorosos requisitos de limpeza da fabricação de semicondutores.

2. Alto desempenho de isolamento elétrico

Graças ao seu alto desempenho de isolamento elétrico, os braços robóticos de alumina Semicorex são capazes de minimizar a geração de carga durante sua operação. Este desempenho confiável pode efetivamente evitar as cargas indesejadas transferidas pelos braços robóticos de alumina para os componentes semicondutores e reduzir o risco de danos aos componentes semicondutores sensíveis.

3. Desempenho de custos favorável

Diferente deBraços robóticos SiC, os braços robóticos de alumina oferecem um preço econômico, mantendo um desempenho estável. Os braços robóticos de alumina Semicorex oferecem excelente resistência mecânica, resistência ao desgaste, resistência ao calor e resistência à corrosão, fazendo com que tenham um desempenho constante sob carga pesada, operação de alta frequência, alta temperatura e condições de trabalho altamente corrosivas por um longo tempo. Esta durabilidade superior prolonga efetivamente a vida útil dos braços robóticos de alumina, reduzindo a eficiência e o custo de substituição de componentes.

Aplicações dos braços robóticos de alumina Semicorex

Os braços robóticos de alumina Semicorex são amplamente aplicados na extremidade frontal dos procedimentos de fabricação de semicondutores, incluindo gravação, deposição de filme fino, implantação de íons e processos CMP. Eles podem suportar, transferir e posicionar wafers e componentes semicondutores de maneira estável, segura e precisa em várias câmaras de processo e equipamentos sob vácuo e condições operacionais de alta limpeza.