Armado de robô de alumina

O braço do robô de alumina semicorex é uma parte cerâmica de alto desempenho projetada para tarefas de manuseio e transferência de wafer na produção de semicondutores. Feita a partir de cerâmica de alumina de alta pureza (Al₂o₃), este braço robótico oferece flexibilidade, precisão, confiabilidade e durabilidade nas salas limpas.

O que se destaca em favor do braço de robô de alumina são as propriedades deCerâmica de Aluminaforça mecânica e dureza. Comoaluminaé tornado mais puro, a alumina mantém uma melhor integridade estrutural e a torna mais resistente ao desgaste e deformação mecânica. Como material, a alumina é uma ótima opção para peças robóticas usadas em tarefas delicadas e repetitivas de manuseio de bolacha, ou seja, quando um braço de robô precisa desempenhar a mesma função e fazer contato com as bolachas, essa pequena distorção aplicada à bolacha pelo braço do robô pode custar uma perda de rendimento de instalações. A alta dureza, isto é, superfícies rígidas, pode ajudar com resistência abrasiva e vida funcional, isto é, estendendo a vida e a duração do serviço/ substituição em um componente robótico.

Além de sua durabilidade mecânica, o braço do robô de alumina também é um excelente isolador elétrico. A resistividade é de até 10 ω · cm e a força de isolamento é de até 15 kV/mm à temperatura ambiente, fornecendo um ambiente muito mais seguro para operar, especialmente quando os sinais elétricos interferentes devem ser diminuídos no equipamento de processamento. Isso se torna importante ao proteger os componentes sensíveis dos semicondutores que transferem entre processos com risco mínimo de dano de descarga eletrostática (ESD).

A cerâmica de alumina é excelente em manter a estabilidade em temperaturas muito altas. O ponto de fusão é de cerca de 2050 ° C e suporta altas temperaturas no processamento térmico semicondutor sem deformação ou precisão dimensional. A alta resistência ao calor permite que o braço seja usado em processos como recozimento térmico rápido (RTA) ou deposição de vapor químico (CVD), onde o alinhamento de precisão e a estabilidade térmica são críticos.

Um dos outros benefícios significativos do braço do robô de alumina é sua inércia. Sua superfície é inerte para a maioria dos agentes de limpeza e os gases de processo usados na fabricação de semicondutores. Portanto, permanecerá livre de contaminação e não contribuirá para a contaminação da superfície da wafer. Essa inércia química é essencial para alcançar condições de produção ultra limpa e fornecer desempenho consistente do dispositivo.

Cerâmica de Aluminatambém é uma opção acessível para ferramentas de semicondutores. Está prontamente disponível como matéria -prima e os processos de usinagem da cerâmica de alumina são bem compreendidos e facilmente escaláveis. Isso permite que as tolerâncias reprodutíveis e consistentes para que peças de alta qualidade sejam produzidas a um preço competitivo. A mistura de desempenho e acessibilidade torna o alumina robô ideal para os Fabs de OEM e semicondutores, onde você precisa de componentes de automação confiáveis que não quebram o banco.

Em resumo, o braço de robô de alumina oferece alto desempenho mecânico, alto desempenho dielétrico, alta resistência térmica, alto desempenho químico, todos com fabricação comprovada a um preço econômico. Coletivamente, essas características de desempenho o tornam confiável e eficiente para aplicações de manuseio de wafer de precisão na fabricação de semicondutores, permitindo o melhor rendimento, potencialmente reduzindo o risco de contaminação e melhorando a eficácia geral do equipamento.