Placas de base de montagem de alumina

As placas de montagem de montagem de alumina semicorex são produtos de cerâmica de alta pureza, projetados como bases duráveis e estáveis para montar cubos de trabalho em equipamentos de fabricação de semicondutores. Essas placas fornecem suporte mecânico crítico e alinhamento para operações de processamento de wafer, como litografia, gravura, deposição e inspeção. É essencial alinhar com precisão o trabalho de trabalho com outros componentes do sistema para garantir que o processamento da wafer possa ocorrer com a fidelidade necessária. As placas são fabricadas por meio de técnicas de processamento específicas para a cerâmica para alcançar a nivelamento necessária, a durabilidade de alta temperatura e a confiabilidade a longo prazo para atender aos requisitos severos da fabricação moderna de semicondutores em ambientes de processo e da sala de limpeza.

As placas de montagem de alumina semicorex são feitas de alta purezaaluminatendo um nível de pureza ≧ 99,5% (típico). Uma alumina de alta pureza possui boas propriedades mecânicas e térmicas, bem como a dureza. A alumina de alta pureza possui excelentes propriedades isolantes elétricas inerentes que também permitem que essas placas sejam usadas em aplicações de vácuo e alta tensão, onde a interferência elétrica pode ser um problema. A alumina será resistente ao ciclo térmico, que permite que as placas mantenham melhor precisão dimensional do que a maioria dos materiais e é benéfico para manter o alinhamento ou a estabilidade estrutural devido à redução da expansão térmica. Esse fator é importante para garantir a repetibilidade do Chuck e as tolerâncias implícitas de processos, enquanto operando por ciclos de produção prolongados.

Nos sistemas de processamento de semicondutores, uma placa de base de montagem não é simplesmente um dispositivo para a fixação mecânica. É o meio de contato térmico entre o mandril e o restante do equipamento e é crítico para a dissipação térmica, integridade estrutural e isolamento de vibração. Ações de processamento como (mas não se limitam a) DCV, PVD ou implante de íons, onde as altas temperaturas e pressões de vácuo são comuns, requerem uma base de montagem para ser resistente termicamente, quimicamente inerte e resistente, mecanicamente sólida e resistente ao choque térmico. A inércia química é vital porque uma montagem deve ser compatível com gases reativos, bem como a limpeza de químicas, prolongando a vida útil da montagem e impedindo a contaminação.

Toda placa de base de montagem de alumina feita pelo Semicorex é usinada a tolerâncias exigidas por OEMs de semicondutores e integradores de equipamentos. As placas são usinadas a tolerâncias rígidas para espessura, variação de altura e nivelamento para garantir a máxima estabilidade e repetibilidade. Essas placas de montagem podem ser feitas com orifícios de montagem, slots ou contraste em especificações do cliente para acomodar melhor tocos de trabalho, estágios mecânicos ou outros equipamentos. A cerâmica de alumina é processada usando modernas técnicas de sinterização e retificação de precisão para otimizar uma microestrutura uniforme e qualidade da superfície para garantir contato e alinhamento térmicos consistentes para uso ao longo do tempo.

As placas de base de montagem de alumina semicorex são usadas em uma variedade de aplicações, incluindo manipuladores de bolacha, sistemas de transferência robótica, conjuntos de vácuo Chuck e estágios de metrologia. Essa confiabilidade e durabilidade em uma variedade de situações de processo exigentes as torna o produto de escolha com os fabricantes de ferramentas que procuram componentes robustos e duradouros de cerâmica de baixa manutenção. Nosso grupo de engenharia faz parceria com os clientes para fornecer soluções exclusivas especificadas para cada placa para maximizar a eficiência para a produção em um semicondutor.

As placas base de montagem de alumina são mais do que apenas um suporte mecânico; É um componente essencial na engenharia de precisão na indústria de semicondutores. Com excelente estabilidade mecânica, pureza e configuração, eles garantem alinhamento preciso, vida longa e operação confiável em uma extensa gama de ferramentas de processo. Para placas básicas de montagem de alto desempenho, atendendo às altas expectativas dos fabricantes de semicondutores atuais, Trust Semicorex.