Manipulador Cerâmico de Alumina

Manipulador de cerâmica de aluminatambém é chamado de garfo cerâmico de alumina e efetor final de manuseio de wafer. Ele é instalado no robô de manuseio de wafer e equivale à mão do robô. É usado para transportar, transportar e posicionar wafers semicondutores.Bolachas de silíciosão extremamente suscetíveis à contaminação por outras partículas, por isso são normalmente manuseados em um ambiente de vácuo para garantir a limpeza. Os manipuladores de cerâmica de alumina usam sucção de pressão negativa para remover wafers e transportar wafers semicondutores através dos movimentos telescópicos, giratórios e de elevação do braço. Existem orifícios de ar e ranhuras de ventilação dentro do manipulador de cerâmica de alumina, que podem formar vácuo ao bombear o ar, de modo que os wafers semicondutores possam ser adsorvidos por contato leve sem beliscar ou danificar os wafers semicondutores.

É sabido que quanto mais pura for a composição docerâmica de aluminafor, maior será sua força. Os manipuladores de cerâmica de alumina Semicorex são feitos de cerâmica de alumina de alta pureza. Isso resulta em excepcional resistência mecânica e dureza. Sua resistência ao desgaste excede em muito a do aço e do aço cromado, permitindo-lhes manter a precisão da superfície ao longo do tempo em ambientes de alto atrito, reduzindo o risco de arranhões nos wafers e tornando-os ideais para manuseio de alta precisão. Este manipulador cerâmico de alumina possui alta resistividade. Suas excelentes propriedades de isolamento elétrico podem prevenir eficazmente a interferência eletrostática e reduzir o risco de adsorção de partículas para manter uma superfície de wafer limpa. Além disso, o processo de fabricação de semicondutores envolve circuitos complexos e ambientes de alta tensão dentro do equipamento. O manipulador cerâmico de alumina de alta resistência bloqueia efetivamente a condução de corrente, garantindo a segurança elétrica durante o manuseio do wafer semicondutor. Graças à resistência a altas temperaturas e estabilidade térmica da cerâmica de alumina, o manipulador deforma-se muito pouco durante o processo de tratamento térmico do semicondutor, pode posicionar wafers com precisão e evitar desvios de precisão causados ​​pela deformação térmica. Além disso, este material possui excelente estabilidade química e é altamente resistente à corrosão por ácidos, álcalis, metais fundidos, etc. Não é fácil reagir com outras substâncias para liberar partículas poluentes e pode proteger eficazmente as peças semicondutoras da contaminação química.