Alumina cerâmica final efetor

O efetor final de cerâmica de alumina semicorex é uma ferramenta essencial em sistemas automatizados de transferência de wafer, oferecendo força mecânica incomparável, estabilidade térmica e resistência química. Fabricado usando alta purezaalumina (al₂o₃) cerâmica, esse efetor final é projetado para atender às rigorosas demandas dos ambientes de processamento de bolacha, onde a precisão, a limpeza e a durabilidade são fundamentais.

Os braços de robô semicondutores são uma das partes importantes do equipamento semicondutor. Eles geralmente são compostos de controladores, motoristas, braços e efetores finais. Eles são caracterizados por alta limpeza, alta estabilidade, alta precisão, alta eficiência e alta confiabilidade. Os robôs semicondutores são usados principalmente no processo front-end da fabricação de semicondutores para transportar, transportar e posicionar as bolachas semicondutores.

A estrutura cerâmica com teor de alumina normalmente maior que 99,5% fornece dureza superior e resistência ao desgaste para movimentos repetidos em ambientes de alta precisão sem degradação ao longo do tempo. A alta condutividade térmica e a baixa expansão térmica da alumina permitem a estabilidade dimensional em ambientes com temperatura elevada, uma necessidade na maioria das operações de salas limpas em semicondutores, como em um Etcher, depósitos, inspeção ou ferramenta de limpeza.

OCerâmica de AluminaO efetor final possui um acabamento superficial característico notável que é suave e com baixa porosidade, tornando -o próximo a zero partículas geradas e minimização ou efeito zero nos contaminantes durante o manuseio da bolacha. Além disso, a alumina é quimicamente inerte. Isso significa que não reagirá com nenhum dos gases do processo e qualquer líquido de processo com o qual o wafer esteja em contato. Isso protege a bolacha e qualquer contaminação a si e do equipamento de qualquer coisa que possa causar corrosão.

Eles geralmente são usados como efetores finais, ou um mecanismo de fixação, para armas robóticas ou módulos de transferência em equipamentos e equipamentos de fabricação de bolas, como uma ferramenta de gravador ou depósito, inspeção ou ferramenta de limpeza com slots precisos, sulcos ou canais de vácuo que capturam o tamanho real, seja 100 MM, 200 mm, ou 300 mm e transferidos e sepultam, e sepraram o tamanho de 100 mm, ou 300 mm. Os efetores finais normalmente lidam com as transferências de wafer de 25 cm/segundo.

Existem opções de personalização de acordo com as interfaces ou tamanhos de wafer de equipamento específicos. A rigidez estrutural da alumina permite perfis finos e leves que minimizam a massa geral do sistema de manuseio e levam a tempos de resposta mais rápidos. Algumas configurações também podem adicionar componentes antiestáticos ou isolantes para fornecer proteção adicional aos substratos eletrônicos sensíveis.

No geral, o efetor final de cerâmica de alumina fornece uma solução eficaz que promove o rendimento aprimorado e a contaminação reduzida, onde a confiabilidade operacional é os elementos -chave da linha de processamento de bolacha. Com suas características de durabilidade e desempenho físico, o efetor de cerâmica de cerâmica eficaz e eficaz se distingue como uma escolha popular entre os fabricantes de equipamentos de semicondutores e Fabs que requerem padrões de produção rigorosos em um ambiente ultra-limpo.