Braços robóticos de alumina Bernoulli

Os braços robóticos são aplicados principalmente nos processos front-end de fabricação de semicondutores, como fotolitografia e gravação, onde participam diretamente no manuseio, transferência e posicionamento de wafers semicondutores. SemicorexaluminaOs braços robóticos Bernoulli são efetores finais de cerâmica que conseguem adsorção e transferência de wafer com base no princípio Bernoulli, proporcionando desempenho excepcional em limpeza, estabilidade, precisão, eficiência e confiabilidade.

Adsorção sem contato

Os braços robóticos Bernoulli de alumina Semicorex podem obter adsorção firme e estável sem contato de wafers, utilizando sua configuração especialmente projetada e sistema de fluxo de ar. Este método de operação sem contato pode evitar o contato direto com wafers semicondutores e prevenir bastante a contaminação dos wafers ou danos causados ​​pelo contato físico, o que é especialmente apropriado para condições de trabalho ultralimpas e transferência delicada de wafers.

Desempenho físico e químico confiável

A cerâmica de alumina apresenta excelente dureza e resistência, tornando a alumina Semicorex Bernoullibraços robóticosadequado para o manuseio a longo prazo de wafers semicondutores sem deformação e danos.

Os braços robóticos Bernoulli de alumina Semicorex também oferecem resistência confiável à corrosão química e podem suportar gases corrosivos desafiadores e ambientes operacionais de plasma, exibindo durabilidade constante por um longo período de tempo.

Controle rigoroso de limpeza

Os braços robóticos Bernoulli de alumina Semicorex são fabricados a partir de pó de alumina de alta pureza por meio de prensagem isostática de precisão e sinterização em alta temperatura. Este método preciso de seleção e processamento de materiais permite que os braços robóticos Bernoulli de alumina Semicorex tenham uma estrutura cerâmica pura e densa. Isto reduz significativamente os riscos de contaminação do wafer causado pelas impurezas indesejadas das condições operacionais.

Controle de precisão superior

Terminados com retificação e polimento precisos, os braços robóticos Bernoulli de alumina Semicorex oferecem precisão dimensional excepcional e planicidade de superfície superior, o que os torna altamente adequados para a fabricação automatizada de semicondutores de alta precisão. Além disso, os braços robóticos Bernoulli de alumina Semicorex apresentam excelente estabilidade térmica, mesmo quando expostos a ambientes com fortes flutuações de temperatura, podendo manter excelente posicionamento repetitivo e precisão de manuseio.