o que é soi

O silício sobre isolador (SOI) é reconhecido como uma das soluções para substituir os materiais de silício monocristalino existentes na era da nanotecnologia e é uma ferramenta importante para manter a tendência da Lei de Moore. Silicon-on-isulator, uma tecnologia de substrato que substitui o silício de substrato a granel tradicional por um substrato "projetado", tem sido usado por mais de 30 anos em aplicações especializadas, como sistemas eletrônicos militares e espaciais, onde SOI tem vantagens únicas devido à sua excelente resistência à radiação e características de alta velocidade.

Os materiais SOI são a base para o desenvolvimento da tecnologia SOI, e o desenvolvimento da tecnologia SOI depende do avanço contínuo dos materiais SOI. A falta de materiais SOI de baixo custo e alta qualidade tem sido a principal restrição para a tecnologia SOI entrar na produção industrial em larga escala. Nos últimos anos, com a maturidade da tecnologia de preparação de material SOI, o problema do material que restringe o desenvolvimento da tecnologia SOI está gradualmente sendo resolvido, o que inclui dois tipos de tecnologia de preparação de material SOI, a saber, implantação de Speration-by-oxygen (SIMOX) e tecnologia de colagem. A tecnologia de colagem inclui a tradicional tecnologia Bond and Etch back (BESOI) e a tecnologia Smart-cut combinando injeção de íons de hidrogênio e colagem proposta por M. Bruel, um dos fundadores da SOITEC na França, bem como a preparação de material Simbond SOI combinando isolamento de oxigênio e ligação proposto pelo Dr. Meng Chen em 2005. A nova tecnologia combina isolamento de injeção de oxigênio e ligação.