Por que escolher susceptores de grafite revestidos com SiC?

susceptor de grafiteé uma das partes essenciais no equipamento MOCVD, é o portador e o aquecedor do substrato do wafer. Suas propriedades de estabilidade térmica e uniformidade térmica desempenham um papel decisivo na qualidade do crescimento epitaxial do wafer, o que determina diretamente a uniformidade e a pureza dos materiais da camada, como resultado, sua qualidade afeta diretamente a preparação da epitaxia. Entretanto, com o aumento do número de utilizações e alterações nas condições de trabalho, é muito fácil perdê-lo e pertence aos consumíveis. A excelente condutividade térmica e estabilidade do grafite o tornam uma boa vantagem comoum componente base para equipamentos MOCVD. No entanto, se apenas o grafite puro for usado, ele enfrentará alguns problemas. Haverá gás corrosivo e resíduo orgânico de metal no processo de produção, e a base de grafite irá corroer e soltar o pó, o que reduz muito a vida útil dosusceptor de grafite, e o pó de grafite caído também causará poluição ao chip, portanto, no processo de preparação da base também Esses problemas precisam ser resolvidos durante a preparação da base. A tecnologia de revestimento pode fornecer fixação de pó de superfície, aumentar a condutividade térmica e equalizar a distribuição térmica, que se torna a principal tecnologia para resolver este problema. A principal tecnologia é resolver esse problema. De acordo com o ambiente de aplicação e requisitos desusceptores de grafite, o revestimento da superfície deve ter as seguintes características.

Alta densidade e embalagem completa: a base de grafite como um todo está em um ambiente de trabalho corrosivo e de alta temperatura, a superfície deve ser totalmente envolvida, enquanto o revestimento deve ter boas densidades para desempenhar um bom papel protetor.

Boa planicidade da superfície: Como a base de grafite usada para crescimento de monocristal requer uma planicidade de superfície muito alta, a planicidade original da base deve ser mantida após a preparação do revestimento, ou seja, a superfície do revestimento deve ser uniforme.

Boa força de ligação: Reduzir a diferença do coeficiente de expansão térmica entre a base de grafite e o material de revestimento pode efetivamente melhorar a força de ligação entre eles, e o revestimento não é fácil de rachar após ciclos térmicos de alta e baixa temperatura.

Alta condutividade térmica: O crescimento de cavacos de alta qualidade requer calor rápido e uniforme da base de grafite, portanto, o material de revestimento deve ter alta condutividade térmica.

Alto ponto de fusão, oxidação em alta temperatura e resistência à corrosão: O revestimento deve funcionar de forma estável em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.