O que é um barco SiC e quais são seus diversos processos de fabricação?

1. Os diferentes processos de fabricação deBarco SiC

(1) Revestindo uma camada deFilme de SiCna superfície do grafitebarcos de cristalatravés de DCV

Esse tipo de barco possui núcleo de grafite, que é usinado em uma única peça. No entanto,grafite é porosoe propenso à geração de partículas, necessitando da aplicação de umRevestimento de filme SiCem sua superfície. Devido à incompatibilidade no Coeficiente de Expansão Térmica (CTE) entre o corpo de grafite e oFilme de SiC, é provável que o revestimento se descasque após vários ciclos de aquecimento e resfriamento, levando à contaminação por partículas. Esses barcos são os mais baratos e têm vida útil de cerca de um ano.

(2) Revestindo uma camada deFilme de SiCem recristalizadoBarcos de cristal SiC

RecristalizadoBarcos de SiCtambém são porosos e podem facilmente gerar partículas. Portanto, os componentes individuais do recristalizadoBarcos de SiCdevem ser pré-formados, sinterizados e depois usinados separadamente. Posteriormente, os componentes são unidos em altas temperaturas com pasta de Si. Uma vez montado em um único barco, umFilme de SiCé aplicado através de DCV. Este recristalizadoBarco SiCtem o processo de fabricação mais longo e é caro, mas a superfícieRevestimento CVDtambém pode ser danificado, com vida útil de cerca de três anos.

(3)MonolíticoBarcos de cristal SiC

Essesbarcossão inteiramente compostos de material SiC. O pó de SiC deve ser moldado e sinterizado na forma de um barco monolítico. Extremamente caros, são muito duráveis ​​e têm menor probabilidade de gerar partículas. No entanto, estes barcos contêm 10-15% de silício livre, que é susceptível à erosão pelo flúor e pelo cloro, levando à contaminação por partículas.

2. Por que a lavagem a seco não é recomendada?

Em resumo, paraBarcos de SiCrevestido com umFilme SiC através de CVD, o revestimento da superfície tende a descascar durante a lavagem a seco, o que causa contaminação por partículas. Para monolíticoBarcos de SiCque contenham uma pequena quantidade de silício livre, a exposição a gases contendo flúor ou cloro pode levar à erosão e à geração de partículas, causando contaminação.**