Revestimento TaC com método CVD

O revestimento de carboneto de tântalo é um importante material estrutural de alta resistência, resistente à corrosão e quimicamente estável para altas temperaturas, com ponto de fusão de até 4273 °C, um dos vários compostos com maior resistência à temperatura. Possui excelentes propriedades mecânicas em alta temperatura, resistência à abrasão por fluxo de ar em alta velocidade, resistência à ablação e boa compatibilidade química e mecânica com grafite e compósitos de carbono/carbono. Portanto, no processo epitaxial de LEDs GaN e dispositivos de energia SiC, como MOCVD, o revestimento TaC tem excelente resistência a ácidos e álcalis a H2, HCl, NH3, que pode proteger completamente o material do substrato de grafite e purificar o ambiente de crescimento.

O revestimento TaC permanece estável em temperaturas acima de 2.000 °C, enquanto o revestimento SiC começa a se decompor em 1.200-1.400 °C, o que também melhorará bastante a integridade do substrato de grafite. Os revestimentos de carboneto de tântalo são atualmente preparados em substratos de grafite principalmente por CVD, e a capacidade de produção de revestimentos TaC será ainda mais aprimorada para atender à demanda por dispositivos de energia SiC e dispositivos epitaxiais GaNLEDs.

O sistema de reação química usado para depositar revestimentos de carboneto de tântalo em materiais de carbono por deposição química de vapor (CVD) é TaCl5, C3H6, H2 e Ar, onde Ar é usado como diluição e gás transportador.

Os revestimentos de carboneto de tântalo desempenham um papel fundamental no processo epitaxial de LEDs GaN e dispositivos de energia SiC usando MOCVD. Os materiais avançados protegem componentes vitais, garantindo sua longevidade e desempenho nas condições adversas associadas à fabricação de semicondutores em alta temperatura.

À medida que a demanda por dispositivos de energia SiC e LEDs GaN continua a aumentar, a capacidade de produção de revestimentos de carboneto de tântalo deverá se expandir. Os fabricantes estão preparados para atender às crescentes exigências dessas indústrias, facilitando a evolução da tecnologia de alta temperatura.

Para concluir,revestimentos de carboneto de tântalorepresentam um salto tecnológico incrível para garantir a durabilidade e confiabilidade dos materiais em ambientes de alta temperatura. À medida que continuam a revolucionar os setores dos semicondutores e da eletrónica de potência, estes revestimentos sublinham o seu estatuto como um elemento crítico dos avanços modernos de alta tecnologia.