O que são pás cantilever?

Durante o processamento de wafers semicondutores, fornos especializados são usados ​​para aquecê-los. Esses fornos contêm tubos cilíndricos alongados onde os wafers são colocados em barcos de wafer em posições predeterminadas e equidistantes. Para garantir que o equipamento de processamento não desperdice os wafers e para suportar as condições de processamento dentro da câmara, os barcos de wafer e outros dispositivos usados ​​no processamento de wafers são fabricados com materiais como carboneto de silício (SiC).

Os barcos de wafer, carregados com um lote de wafers a serem processados, são posicionados em longos remos em balanço. Estas pás podem ser inseridas e retiradas dos fornos e reatores tubulares. Os remos consistem em uma seção de suporte achatada que pode segurar um ou mais barcos e uma alça longa localizada em uma extremidade da seção de suporte achatada para facilitar o manuseio.

Para obter os melhores componentes no processamento de semicondutores, recomenda-se o uso de uma pá cantilever feita de carboneto de silício recristalizado com uma camada fina de CVD SiC. Este material é de alta pureza e é a melhor escolha para tais componentes.

A Semicorex fabrica pás cantilever personalizadas com revestimento CVD SiC de alta qualidade. Se você tiver alguma dúvida ou precisar de detalhes adicionais, não hesite em entrar em contato conosco.

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