Aquecedores de grafite revestidos condutores

Oaquecedor de grafite revestido condutoré um novo produto projetado para processamento de semicondutores de alta temperatura e outros sistemas térmicos a vácuo. Emprega a boa estabilidade térmica da grafite de alta pureza e as excelentes características da superfície de um revestimento de carboneto de silício (SIC). O aquecedor de grafite revestido condutor é ainda mais diferenciado por sua camada SiC dopada com nitrogênio, que oferece condutividade superficial bastante aprimorada, tornando-a especialmente adequada para aplicações que precisam ser controladas e até aquecimento com grande desempenho elétrico.

O aquecedor é construído com um substrato de grafite de alta resistência, que atua como o principal condutor estrutural e térmico. A grafite foi escolhida, especificamente dados seus altos níveis de condutividade térmica, baixo coeficiente de expansão térmica e resiliência ao choque térmico. Essas características tornam a grafite um material de base adequado em aplicações de processo de alta temperatura, onde pode haver ciclos rápidos de aquecimento e resfriamento. No entanto, a própria grafite primitiva é quimicamente reativa em certas atmosferas e pode sofrer danos ou degradação da superfície, emissão de partículas ou transferência durante o uso prolongado, especialmente em ambientes de salas limpas semicondutor.

Para superar essas limitações, a parte de grafite é revestida com uma camada SIC espessa de alta pureza. O revestimento SiC serve várias funções: fornece um nível de proteção contra a oxidação e a corrosão química, fornece uma superfície muito difícil e resistente ao desgaste e garante compatibilidade com os padrões de vácuo e salas limpas. O SIC tem uma reputação de dureza extrema, alta condutividade térmica e helicência química; Por esse motivo, é um excelente material de revestimento para componentes térmicos de alto desempenho.

A inovação única deste produto é a dopagem de nitrogênio do revestimento SiC. Durante o processo de deposição de vapor químico (DCV), os átomos de nitrogênio são incorporados na treliça do SiC, produzindo portadores livres, que podem diminuir drasticamente sua resistividade da superfície e, portanto, criar uma camada de superfície condutora e permitir que a corrente passe diretamente, em vez de usar um ponto de acesso, através do revestimento SIC, permitindo assim o componente de grafito de siC, em vez de atuar.

ClássicoRevestimentos SICsão isolantes, o que realmente os limita no escopo das aplicações elétricas ativas. Por outro lado, a camada SiC dopada com nitrogênio no aquecedor tem uma resistência à superfície extremamente baixa, mantendo todos os benefícios mecânicos e químicos do SIC clássico. A camada condutora fornece uniformidade de corrente muito boa e minimiza a perda de energia, melhorando a distribuição térmica na superfície do aquecedor. É particularmente ideal para aplicações de aquecimento de precisão em condições frequentemente associadas a reatores epitaxiais, fornos de difusão e equipamentos de processamento térmico rápido (RTP).

A geometria do aquecedor, normalmente em espiral ou serpentina, como mostrado na imagem, é projetada e otimizada com a intenção de produzir energia uniforme de saída térmica e carga elétrica uniforme. Com o design integrado do revestimento de grafite e SiC condutor, os contatos elétricos podem ser feitos diretamente na superfície revestida, o que elimina a necessidade de eletrodos adicionais ou conexão de metal. Isso reduz os riscos de contaminação e resulta em uma montagem mais simples. Consequentemente, a eficiência geral é melhorada.

Principais benefícios do condutorAquecedor de grafite revestido com SICincluir:

Excelente condutividade elétrica devido ao doping de nitrogênio, permitindo o fluxo de corrente direta e o aquecimento resistivo eficiente.

Uniformidade térmica superior com controle preciso da temperatura em toda a área da superfície.

Alta resistência química, particularmente em ambientes corrosivos, como hidrogênio, amônia ou atmosferas ricas em halogênio.

Geração mínima de partículas, atendendo aos rigorosos requisitos de pureza da fabricação de semicondutores.

Vida prolongada de serviço, devido à durabilidade mecânica e à resistência ao choque térmico do núcleo de grafite e do revestimento SiC.

As aplicações para esse aquecedor se estendem por várias indústrias de tecnologia avançada. O aquecedor encontrará um local em processos de fabricação de semicondutores, como deposição de vapor químico (DCV), epitaxia de feixe molecular (MBE) e recozimento de wafer, onde o controle preciso da temperatura e a pureza dos materiais são críticos. O aquecedor de grafite revestido com SiC também pode ser usado na produção fotovoltaica, sinterização de cerâmicas avançadas e em outros processos térmicos onde são necessários mais alto desempenho, durabilidade e aquecedores robustos.

Em resumo, o aquecedor de grafite revestido com SiC condutor é um avanço impressionante no desenvolvimento de componentes térmicos. Usando um revestimento SiC dopado com nitrogênio, desenvolvemos um produto térmico eficaz, que combina com sucesso a estabilidade química do revestimento SiC com condutividade elétrica. Assim, produzindo um processo térmico mais eficiente, mais limpo e mais confiável para as aplicações industriais mais exigentes. As indústrias de semicondutores e materiais enfrentam mudanças contínuas e materiais híbridos desse tipo se tornarão cada vez mais importantes para permitir futuras tecnologias mais avançadas para a fabricação.

O Semicorex oferece alta qualidadeAquecedores de grafite com revestimentoprodutos. Se você tiver alguma pergunta ou precisar de detalhes adicionais, não hesite em entrar em contato conosco.

Telefone de contato # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com