Revestimentos de carboneto de tântalo na indústria de semicondutores

O desenvolvimento de LEDs azuis e UV de alta potência permitiu a criação de telas de TV LED coloridas, bem como iluminação LED branca para automóveis e residências. Esses LEDs são baseados em nitreto de gálio, que é depositado em wafers de substrato suportados por susceptor de grafite revestido com SiC CVD usando o processo MOCVD. Porém, o revestimento de SiC é atacado pelo gás amônia utilizado no processo, reduzindo sua vida útil. Para aumentar a vida útil do revestimento e reduzir o custo geral, a indústria precisa de uma nova opção de revestimento mais inerte. O carboneto de tântalo está sendo considerado um substituto, pois pode aumentar significativamente a resistência a esta atmosfera agressiva e fornecer uma solução que não está disponível atualmente. A Semicorex vende peças de grafite revestidas com CVD TaC para fornecedores da indústria de semicondutores.

Nossos produtos de grafite revestidos com TaC são conhecidos por sua resistência superior ao calor quando comparados aos produtos de grafite revestidos com SiC. Como resultado, eles são popularmente usados ​​no processamento de semicondutores, como o processo epitaxial de wafers de SiC, que são usados ​​em temperaturas mais altas. A demanda por nossos produtos está aumentando em linha com o crescimento do mercado.

A Semicorex oferece peças de grafite revestidas com TaC de alta qualidade com serviço personalizado. Se você tiver alguma dúvida ou precisar de detalhes adicionais, não hesite em entrar em contato conosco.

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