Revestimento TaC

A cerâmica TaC tem um ponto de fusão tão alto quanto 3880°C, alta dureza (dureza Mohs 9-10), grande condutividade térmica (22W·m^-1·K⁻¹), grande resistência à flexão (340-400MPa) e pequeno coeficiente de expansão térmica (6,6×10^-6K-1) e exibem excelente estabilidade termoquímica e excelentes propriedades físicas, de modo que os revestimentos TaC são amplamente utilizados na proteção térmica aeroespacial, e os compósitos de grafite e C/C têm boa compatibilidade química e mecânica. ) e apresentam excelente estabilidade termoquímica e excelentes propriedades físicas, e os compósitos de grafite e C/C têm boa compatibilidade química e compatibilidade mecânica, portanto, os revestimentos TaC são amplamente utilizados em proteção térmica aeroespacial, crescimento de cristal único, energia e eletrônica e dispositivos médicos, etc. A grafite revestida com TaC tem uma melhor resistência química do que a grafite nua ou a grafite revestida com SiC e pode ser usada de forma estável a uma alta temperatura de 2600°. Estabilidade de alta temperatura de 2600 °, e muitos elementos metálicos não reagem, é a terceira geração de cenários de crescimento de cristal único semicondutor e gravação de wafer no melhor desempenho do revestimento, pode melhorar significativamente o processo de controle de temperatura e impurezas, a preparação de alta wafers de carboneto de silício de qualidade e wafer epitaxial relacionado. É especialmente adequado para equipamentos MOCVD cultivarem monocristais GaN ou AlN e equipamentos PVT para cultivar monocristais SiC, e a qualidade dos monocristais cultivados é significativamente melhorada.

De acordo com os resultados da pesquisa,O revestimento TaC pode atuar como uma camada de proteção e isolamento para prolongar a vida útil dos componentes de grafite, melhorar a uniformidade da temperatura radial, manter a estequiometria de sublimação de SiC, suprimir a migração de impurezas e reduzir o consumo de energia. Em última análise, espera-se que um conjunto de cadinho de grafite revestido com TaC melhore o controle do processo SiC PVT e a qualidade do produto.