Mandril de vácuo de alumina porosa

O mandril de vácuo é conectado ao equipamento de vácuo através de um tubo de conexão. Quando o mandril de vácuo entra em contato com a peça de trabalho, como um wafer/filme fino, o equipamento de vácuo começa a funcionar, criando uma pressão negativa dentro do mandril de vácuo. Sob pressão atmosférica, a peça adere firmemente ao mandril de vácuo, permitindo o processamento. Após a conclusão do processamento, o equipamento de vácuo para de funcionar e enche lentamente o mandril de vácuo com gás, separando automaticamente a peça de trabalho do mandril. Isso completa a fixação, processamento e manuseio da peça de trabalho.

O objetivo principal da fotolitografia de semicondutores é "imprimir" bilhões de padrões de circuitos de transistores em um wafer com precisão de nível nanométrico. A essência da "fotolitografia" é usar uma fonte de luz para irradiar um fotorresiste altamente fotossensível, causando uma reação química que grava o circuito. No entanto, quando a fonte de luz irradia o wafer, ela inevitavelmente também brilha no mandril eletrostático, que serve como transportador do wafer. A luz secundária refletida resultante pode interferir no processo de fotolitografia, causando exposição em áreas indesejadas e danificando os circuitos. Portanto, uma superfície preta para o mandril a vácuo minimiza o reflexo, garantindo os requisitos de precisão do sistema de fotolitografia. Com base nesta capacidade, a alumina preta pode ser amplamente utilizada não apenas em mandris eletrostáticos, mas também em cenários de “supressão de luz”. O advento da era da IA ​​permitiu um desenvolvimento significativo em aplicações de comunicação óptica, e substratos de alumina preta são frequentemente vistos em embalagens de dispositivos optoeletrônicos e elementos emissores de luz.

Cerâmica de alumina pretaé feito principalmente de Al2O3, com adição de óxidos de metais de transição como corantes e auxiliares de sinterização, sinterizados a uma temperatura específica. O corante é um componente crucial deste tipo de cerâmica, determinando a sua cor final. Ao selecionar corantes para mandris a vácuo, é essencial garantir o grau de cor, resistência mecânica, porosidade e tamanho dos poros do mandril a vácuo.

Atualmente, os óxidos de metais de transição comumente usados ​​como corantes, tanto nacional quanto internacionalmente, incluem Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 e MnO2, sendo Fe2O3, CoO, NiO e MnO2 os mais prevalentes. Como a alumina é menos volátil a altas temperaturas, enquanto os óxidos de metais de transição são o oposto, a sua volatilidade aumenta com a temperatura. Esses óxidos formam compostos do tipo espinélio durante a sinterização em alta temperatura, o que reduz sua volatilidade. Portanto, para suprimir a volatilização de óxidos de metais de transição, devem ser selecionadas condições de processo apropriadas para permitir que eles se combinem em compostos do tipo espinélio a temperaturas mais baixas.

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