Qual é o entalhe nos wafers?

O entalhe do wafer é uma ranhura em forma de V ou U na borda de umbolacha semicondutora. Longe de ser um defeito ocorrido durante o processo de fabricação, é o marcador estrutural crítico que foi intencionalmente projetado, cuja função principal reside em permitir o posicionamento preciso e a identificação da orientação do wafer. Wafer flat foi usado como marcação de orientação nos estágios iniciais do desenvolvimento da tecnologia de wafer. No entanto, à medida que os tamanhos dos wafers aumentaram gradualmente, o design de borda plana ocupou uma área mais efetiva, sendo gradualmente substituído pelo entalhe mais compacto.

Qual é a função do entalhe do wafer? 

A fabricação de chips é um processo em escala nanométrica, no qual qualquer desvio direcional pode levar à falha do circuito. Servindo como uma marcação de orientação, o entalhe do wafer permite que máquinas de litografia e gravação identifiquem rapidamente a orientação do cristal do wafer, garantindo o alinhamento preciso de cada etapa do processo. Cada chip é posicionado no wafer de acordo com um entalhe, semelhante ao meridiano principal. Este design engenhoso permite que padrões de circuitos sejam litografados e dispostos com o entalhe como ponto de referência. Além disso, os braços robóticos contam com o entalhe do wafer para distinguir a parte frontal/traseira do wafer e sua orientação em linhas de produção altamente automatizadas, o que evita significativamente danos ao wafer ou erros de processo causados ​​por operação incorreta. Caso o entalhe fique contaminado ou danificado, todo o wafer poderá ser rejeitado como não conforme.

O entalhe do wafer também desempenha um papel crucial na melhoria do rendimento da fabricação de chips. Como as bordas do wafer são propensas a defeitos como linhas de deslizamento e rachaduras durante a fabricação, o posicionamento preciso por meio de entalhes permite que o equipamento evite com precisão essas áreas defeituosas, reduzindo assim o desperdício. As linhas de produção modernas também adotam tecnologias como a rotação da suspensão a ar para operações de localização de bordas. Servindo como um marcador para detecção sem contato, o entalhe do wafer não apenas evita a contaminação causada pelo contato mecânico, mas também melhora a eficiência e a precisão da identificação.

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