Barco de bolacha de carboneto de silício

Por trás de todos os processos de alta temperatura na fabricação de bolacha, encontra-se um jogador silencioso e crucial: o barco de bolacha. Como transportadora principal que entra em contato diretamente com a bolacha de silício durante o processamento da bolacha, seu material, estabilidade e limpeza estão diretamente relacionados ao rendimento final do chip e à estabilidade do processo. Entre vários materiais de transportadora,carboneto de silício (sic)Os barcos estão gradualmente substituindo as soluções tradicionais de quartzo, tornando-se a solução preferida para processos avançados e equipamentos de ponta.

Por que os barcos de wafer sic?

Com o avanço dos nós do processo abaixo de 7Nm e a expansão de janelas de processo de alta temperatura, os barcos tradicionais de wafer de quartzo estão cada vez mais lutando em termos de estabilidade térmica, controle de partículas e gerenciamento de vida útil.

Os barcos de wafer de carboneto de silício, no entanto, estão gradualmente ganhando destaque devido às seguintes vantagens:

1.Stable em altas temperaturas:

Eles oferecem temperaturas operacionais a longo prazo de 1350-1600 ° C, manipulando facilmente processos convencionais, como DCV, difusão e recozimento. Mesmo uma breve exposição a temperaturas de 1800 ° C não mostra amolecimento ou deformação, tornando-as adequadas para equipamentos de ponta, como fornos de carboneto de silício de cristal único.

2. Expansão Low e alta estabilidade de choque térmico:

Com um baixo coeficiente de expansão térmica, eles podem suportar aumentos rápidos de temperatura e diminuição, minimizando as trincas estruturais causadas pelo estresse térmico. Eles mantêm excelente morfologia e desempenho em atmosferas complexas de alta temperatura (como hidrogênio, nitrogênio, amônia e fluoretos).

3. Clean superfície e contaminação extremamente baixa:

Alta pureza material com impurezas mínimas de metal. Baixa rugosidade da superfície, impedindo a contaminação secundária das bolachas de silício; Excelente controle de rugosidade da superfície, com AR abaixo de 0,1μm, suprime o derramamento de partículas e atende aos requisitos da sala limpa dos processos avançados;

4. Moldagem de uma peça, Estruturas de barco de bolas de bolas de precisão podem ser formadas diretamente por meio de molde sem moldeImpressão 3D, eliminando a necessidade de moldes, melhorando significativamente a eficiência da personalização; Combinados com a tecnologia de usinagem e corte de arame de cinco eixos, os dentes do barco são livres de rebarbas, impedindo arranhões nas bolachas e garantindo manuseio automatizado suave;

5. Alta força e vida longa: 

Um único barco possui alta resistência de carga e pode suportar dezenas a centenas de bolachas de 12 polegadas. Comparado aos barcos tradicionais de quartzo, a vida útil média do barco é 5 a 10 vezes mais, reduzindo a frequência da troca de equipamentos e o custo total de propriedade.

Cenário de aplicação

A ampla adaptabilidade debarcos de wafer de carboneto de silícioestende sua aplicação além do campo de semicondutores a uma variedade de cenários de processo de alta temperatura, incluindo novos materiais de energia, fabricação de LED e pesquisa de energia nuclear.

Indústria de semicondutores

É adequado para processos-chave como oxidação, difusão, deposição de CVD e implantação de íons, tornando-o um portador indispensável de alta temperatura para linhas de processo sub-7nm.

Indústria fotovoltaica

Em tecnologias emergentes de bateria, como TopCon e HJT, os barcos de wafer são usados ​​em processos de forno de alta temperatura, como LPCVD e recozimento, ajudando a melhorar as taxas de eficiência energética e conversão.

Semicondutores de terceira geração

Para os processos de crescimento epitaxial de GaN e SiC em LEDs, eles apoiam substratos de safira ou carboneto de silício. Eles suportam gases corrosivos como NH₃ e HCl, apoiando a fabricação de dispositivos de energia de alta frequência.

Novos materiais de energia e pesquisa de alta temperatura plataforma

Suporta a reação de sinterização dos materiais cátodo de bateria de lítio e o tratamento térmico dos materiais da indústria nuclear, combinando resistência ao calor, resistência à corrosão e limpeza.

O semicorex oferece alta purezabarcos de wafer sic personalizados. Se você tiver alguma pergunta ou precisar de detalhes adicionais, não hesite em entrar em contato conosco.

Telefone de contato # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com