Feltro de revestimento de carbono vítreo

O revestimento de carbono vítrea de semicorex, o revestimento de carbono, atua como uma camada de isolamento interno em reatores epitaxiais de carboneto de silício. É um material de isolamento de alto desempenho projetado para ambientes térmicos avançados. Este produto supera os desafios típicos de fabricação de alta temperatura semicondutores, oferecendo soluções superiores devido às suas propriedades leves e excelentes de isolamento térmico deFeel de grafite, juntamente com a integridade da superfície e a inércia química transmitida por um revestimento de carbono vítreo.

O material base é uma alta purezaFeel de grafiteEscolha para sua baixa condutividade térmica estabilidade de alta temperatura e peso leve. O feltro de grafite normal geralmente possui derramamento de fibra superficial e geração de partículas a temperaturas elevadas que podem contaminar o ambiente de processo em sistemas epitaxiais sensíveis. Para mitigar esse problema, a superfície do feltro de grafite é uniformemente revestida com uma camada de carbono vítreo-uma forma densa e não porosa de carbono conhecida por sua inércia química, baixa permeabilidade a gás e estabilidade térmica excepcional.

O carbono vítreo é um carbono não grafitizado que combina as propriedades de vidro e cerâmica. Em contraste com a grafite cristalina, é um material de carbono hibridizado quase 100% SP2, formado pela sinterização de alta temperatura de precursores orgânicos polimerizados, como resina fenólica, resina de álcool furfuril, etc., em uma atmosfera gasosa. Por ser preto e tem uma superfície lisa semelhante ao vidro, é chamado de carbono vítreo.

O revestimento de carbono vítreo pode eliminar a geração de partículas do forno, fornecer poros de superfície selados, ter excelentes propriedades de desmoldamento e reduzir a permeabilidade, tornando esse material muito adequado para moldes e produtos de fundição contínuos na indústria de semicondutores. Este material possui uma ampla gama de aplicações na indústria de semicondutores, especialmente em peças de grafite, como componentes de equipamentos de tração de silício único, componentes de crescimento epitaxial, moldes de fundição contínuos, gabaritos de vedação de vidro, etc.

O carbono vítreo tem resistência a alta temperatura de até 3000 ° C em gás ou vácuo inerte e, diferentemente de todos os outros materiais de cerâmica e alta temperatura metálica, a força do carbono vítrea aumenta com o aumento da temperatura até 2700K, e não se torna frágil e tem resistência ao choque térmico extremamente alta, portanto, os tempos de aquecimento curto e resfriamento não são nenhum problema. Além disso, o carbono vítreo tem baixa massa, baixa absorção de calor e baixa expansão térmica, por isso é adequada para quase todas as aplicações de alta temperatura.

O revestimento de carbono vítreo desempenha um papel crucial na vedação dos poros da superfície do feltro de grafite, reduzindo significativamente a liberação de partículas e pó de carbono durante a operação. Isso é especialmente crítico nos processos de crescimento epitaxial do SiC, onde mesmo a contaminação mínima pode comprometer a qualidade da bolacha e o desempenho do dispositivo. Ao encapsular a estrutura porosa do feltro com uma concha de carbono vidro lisa e dura, o revestimento garante um ambiente térmico limpo e estável dentro da câmara de reação.

As principais vantagens do revestimento de carbono vítimas de feltro incluem:

Derrofone de partículas reduzidas: o revestimento denso trava efetivamente em fibras e partículas soltas, impedindo a contaminação de bolachas e componentes do reator.

Alta estabilidade térmica: tanto o feltro de grafite quanto o carbono vítreo podem suportar temperaturas que excedam 2000 ° C em atmosferas inertes ou a vácuo, tornando o produto ideal para processos SiC de alta temperatura.

INERGIDADE QUÍMICA: A superfície vítrea de carbono é resistente à maioria dos ácidos e gases corrosivos, estendendo a vida operacional da camada de isolamento em condições adversas.

Consistência aprimorada do processo: a geração de partículas minimizada contribui para um ambiente de crescimento epitaxial mais estável e repetível, essencial para a produção de bolachas SiC de alta qualidade.

As aplicações do revestimento de carbono vítimas de feltro se estendem principalmente aos fornos de crescimento epitaxial do SiC, onde é usado como uma camada de isolamento térmico dentro da zona quente. O produto é normalmente instalado como um material de revestimento nas pilhas de isolamento superior ou inferior, onde fornece proteção térmica e garantia de limpeza.